证券代码：688082证券简称：雅泽上海市公示序号：2023-011

本公司董事会及整体执行董事确保本公告内容不存在什么虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对内容的真实性、准确性完好性依规负法律责任。

核心内容提醒：

●每一股比例：每10股派发现金红利3.72元（价税合计），不派股，没有进行资本公积转增股本。

●此次股东分红以执行权益分派证券登记日注册登记的总市值为基准，实际日期将于权益分派执行声明中确立。

●在执行权益分派的证券登记日前企业总市值产生变化的，保持分派总金额不会改变，适当调整每一股比例，并把再行公示实际调节状况。

●企业2022年年度拟分配红股总金额与2022年年度归属于上市公司公司股东纯利润比例小于30%，关键基于对目前公司所处行业特性及发展过程，融合现阶段经营情况和今后融资需求的充分考虑。为助力公司各类战略发展规划落地式，确保公司持续、平稳、持续发展，企业明确提出此2022本年度利润分配方案，既维护广大投资者的合法权利，又兼具企业长期稳定发展的需求。

一、利润分配方案内容

经立信会计师事务所（特殊普通合伙）开具的《审计报告》（信大会师报字[2023]第ZI10026号），2022年总公司完成税后净利润645,491,702.25元，获取10%的法定公积金金64,549,170.23元，再加上今年初总公司盈余公积477,072,770.33元。截止到2022年12月31日，总公司完成可供分配利润额为rmb1,058,015,302.35元。经第二届股东会第三次会议决定，企业2022本年度拟以执行权益分派证券登记日注册登记的总市值为基准开展股东分红。此次利润分配方案如下所示：

截止到2022年12月31日，企业总市值为433,557,100股，以总市值为依据，拟每10股派发现金红利3.72元（价税合计），总共派发现金红利161,283,241.20元（价税合计），此次股东分红股票分红额度占2022年合并财务报表归属于母公司公司股东纯利润的24.13%。此次股东分红不派股，没有进行资本公积转增股本。

如果在本公告公布之日起止执行权益分派证券登记日期内，企业总市值产生调整变化的，企业保持分派总金额不会改变，适当调整每一股比例。

此次利润分配预案尚要递交企业2022年年度股东大会决议。

二、年度股票分红占比少于30%的说明

报告期，上市企业完成归属于上市公司股东的纯利润668,486,949.72元，截止到2022年12月31日，总公司总计盈余公积为1,058,015,302.35元，公司拟分配红股总额为161,283,241.20（价税合计），占年度归属于上市公司股东的纯利润占比少于30%，主要原因分项目表明如下所示：

（一）企业所在行业现状及特点

企业所处半导体材料专业设备领域归属于技术密集领域，涉及到微电子技术、电气设备、机械设备、原材料、化学工艺、流体动力学、自动化技术、图像识别技术、通信、系统软件等多个研究领域，具有很高的项目研发门坎。全球半导体专业设备领域竞争激烈，国际性头部企业每一年也将很多资金分配产品研发以确保新产品的技术升级以及在市场上的竞争能力，企业产品则在面对的行业都与国际性头部企业立即市场竞争。在这种情况下，企业需要投入大量资金用以促进技术革新和技术升级，以进一步提升企业技术水平与竞争优势。

（二）发售公司发展阶段与自身运营模式

企业目前正处于快速增长及战略部署的主要发展过程，企业规模不断增大。企业将重点围绕总体发展战略规划，以技术革新为基础发展动能，以需求为导向，不断提升运营管理能力，持续在科技突破、新产品研制开发设计、人才的培养、市场拓展、兼并收购、内控体系建设等多方面维持比较大资金投入，提升企业先发优势，加速发展战略项目拓展，夯实并提高市场份额，在保证科学合理的利润率的前提下，扩张企业收入经营规模，为顾客及持股人创造财富。

（三）上市企业获利能力及融资需求

企业2022本年度实现营业收入2,873,045,516.26元，同比增加77.25%，完成归属于上市公司股东的纯利润668,486,949.72元，同比增加151.08%。企业盈利能力进一步增强，总体经营情况稳步发展。但是因为处在迅速发展环节仍有非常大的融资需求。在充分考虑了现阶段的领域发展情况、公司战略规划及其重要资产开支分配等多种因素后，公司决定保留全额资产去满足科研投入、生产能力基本建设、市场拓展及流动资金需求，全面保障企业稳定营运、持续发展。

（四）上市企业股票分红水平较低的主要原因

由于目前公司所处行业特性及发展过程，融合现阶段经营情况和今后融资需求，为助力公司各类战略发展规划落地式，确保公司持续、平稳、持续发展，企业明确提出此2022本年度利润分配方案，既维护广大投资者的合法权利，又兼具企业长期稳定发展的需求。

（五）上市企业保留盈余公积的确切主要用途及其预估盈利状况

企业保留盈余公积将转到下一年度，用以加大研发投入、提升生产运营发展趋势，以提升公司竞争优势，提升市场竞争力，进一步提升公司行业影响力。公司将继续严格执行法律法规和《公司章程》等有关规定的需求，并根据企业所在发展过程、生产经营情况、现金流量等多种要素，积极履行企业的利润分配政策，与投资人分享公司发展的成效，能够更好地维护保养公司股东的整体利益。

三、企业履行决策制定

（一）董事会会议的举办、决议和表决状况

2023年2月23日，公司召开第二届股东会第三次会议，全票审议通过了《关于2022年度利润分配预案的议案》，并同意提交公司2022年年度股东大会决议，经审批后执行。

（二）独董建议

公司独立董事觉得：企业2022本年度利润分配预案，是企业根据领域发展状况、公司发展阶段、本身运营模式及融资需求的充分考虑。其决策制定合理合法，合乎相关法律法规、中国保险监督管理委员会及上海交易所的有关规定，合乎《公司章程》的有关规定，符合公司具体情况和长远发展布局的必须，不存在损害公司及公司股东，尤其是中小型股东利益的情形。综上所述，大家一致同意企业2022本年度利润分配预案，并同意股东会将这个提案递交股东大会审议。

（三）职工监事建议

公司监事会觉得：企业2022本年度利润分配预案合乎《公司法》等相关法律法规和《公司章程》的相关规定，未影响自然人股东特别是中小股东利益，有利于公司的正常运营与未来的健康发展。

三、有关风险防范

公司本次利润分配预案融合了公司目前的发展阶段、将来的融资需求等多种因素，不会对公司运营现金流量产生重大影响，也不会影响企业正常运营和长远发展。

企业2022本年度利润分配预案尚要递交企业2022年年度股东大会表决通过后才可执行，烦请投资人注意投资风险。

特此公告。

盛美半导体机器设备（上海市）有限责任公司

股东会

2023年2月25日

证券代码：688082证券简称：雅泽上海市公示序号：2023-013

盛美半导体机器设备（上海市）有限责任公司

有关聘任企业2023年度审计报告组织的通知

本公司董事会及整体执行董事确保本公告内容不存在什么虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对内容的真实性、准确性完好性依规负法律责任。

●核心内容提醒

拟聘用的会计事务所名字：立信会计师事务所（特殊普通合伙）

盛美半导体机器设备（上海市）有限责任公司（下称“企业”）于2023年2月23日举办第二届股东会第三次会议，审议通过了《关于续聘2023年度审计机构的议案》，公司拟聘任立信会计师事务所（特殊普通合伙）（下称“众华”）为公司发展2023年度审计报告组织。该提议尚要递交企业股东大会审议，现就相关的事宜公告如下：

一、拟聘任的会计事务所基本概况

（一）资质信息

1.基本资料

立信会计师事务所（特殊普通合伙）由我国会计大师潘序伦医生于1927年上海市区建立，1986年复办，2010年变成国内首个进行改革的特殊普通合伙制会计事务所，公司注册地址为上海，首席合伙人为朱建弟老先生。众华是国际会计互联网BDO中的一员所，主要从事证券业务业务流程，新证券法实施后具备证劵、期货业务许可证书，具备H股审计资格，并且已经向美国公众公司会计监督联合会（PCAOB）工商登记注册。

截止到2022年底，众华有着合作伙伴267名、注册会计2,392名、从业人员总数10,620名，签定过证券业务业务流程财务审计报告的注册会计674名。

众华2021年经营收入（经审计）45.23亿人民币，在其中审计工作收益34.29亿人民币，证劵经营收入15.65亿人民币。

2021年度众华为587家公司给予年报审计服务项目，审计费用7.19亿人民币，我们公司同业竞争上市公司审计顾客398家。

2.投资者保护水平

截止到2022年底，众华已获取职业风险基金1.61亿人民币，选购的职业保险总计责任限额为12.50亿人民币，有关职业保险可以遮盖因审计失败所导致的赔偿责任。

近三年在职业个人行为有关民事案件中承担法律责任的现象：

3.诚信记录

众华近三年因从业个人行为遭受刑事处分无、行政处分2次、监管对策30次、自律监管对策无和政纪处分2次，涉及到从业者82名。

（二）工程信息

1.基本资料

（1）项目合伙人近三年从业情况：

名字：唐艺

（2）签名注册会计近三年从业情况：

名字：张莉

（3）质量管理复核人近三年从业情况：

名字：章顺文

2.项目组成员自觉性和诚信记录状况。

项目合伙人、签名注册会计和质量管理复核人不会有违背《中国注册会计师职业道德守则》对自觉性规定的情况。

二、审计费用

企业2022年度的审计费为人民币290万余元，在其中财务报告审计花费250万余元、内控审计花费40万余元。2023年审计费定价原则主要基于公司业务经营规模、所在市场和账务处理复杂性等多方面要素，并依据财务审计人员配备情况和资金投入工作量及其公司的资费标准明确。

董事会报请股东会受权公司管理人员依据2023年公司具体业务开展情况和市场状况等和审计公司共同商定审计费（包含财务报告审计费用及内控审计花费），并签署有关服务合同等事宜。

三、拟聘任会计师事务所履行程序流程

（一）审计委员会的履职

企业董事会审计委员会对立信会计师事务所（特殊普通合伙）相关资质展开了严格把关。审计委员会认为具有证劵、期货交易业务职业资格考试，具有财务审计的业务能力和资质证书，要为企业提供审计服务期内，坚持不懈独立审计原则，勤勉尽责，客观性、公平、公允价值地体现财务状况、经营业绩，认真履行了审计公司应尽的职责。一致同意将聘任立信会计师事务所（特殊普通合伙）为公司发展2023年度审计报告组织事宜提交公司股东会决议。

（二）独董的事先认同建议和独立意见

独董事先认同建议：立信会计师事务所（特殊普通合伙）具有从业业务资质及从业上市公司审计相关工作的丰富的经验和职业素质，在和企业的协作环节中，为公司发展带来了高质量的审计服务，针对标准公司财务运行也起到了积极主动的建设性作用。其在担任公司审计机构期内，遵照《中国注册会计师独立审计准则》，勤恳、敬业，公允价值科学地发布了独立审计建议。因而，大家一致同意聘任立信会计师事务所（特殊普通合伙）为公司发展2023年度审计报告组织，并把《关于续聘2023年度审计机构的议案》提交给董事会决议。

独董单独建议：立信会计师事务所（特殊普通合伙）具备担任证劵业务资格，所开具的企业年度审计报告客观性、真正，精确体现了公司财务情况、经营业绩，工作中勤勉尽责，从业水准优良。企业聘任2023年度审计报告机构相关程序合乎《中华人民共和国公司法》《盛美半导体设备（上海）股份有限公司章程》的相关规定，不存在损害公司与公司股东，尤其是中小股东权益的举动。咱们允许股东会表决通过有关提案后把它提交公司股东大会审议。

（三）董事会的决议和表决状况

董事会已经在2023年2月23日举行的第二届股东会第三次会议，决议并全票通过了《关于续聘2023年度审计机构的议案》。

（四）生效时间

此次聘任2023年度审计报告组织的事宜尚要递交企业股东大会审议，并于企业股东大会审议根据生效日起效。

特此公告。

盛美半导体机器设备（上海市）有限责任公司

股东会

2023年2月25日

证券代码：688082证券简称：雅泽上海市公示序号：2023-014

盛美半导体机器设备（上海市）有限责任公司

2022本年度募资储放和实际应用情况专项报告

本公司董事会及整体执行董事确保本公告内容不存在什么虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对内容的真实性、准确性完好性依规负法律责任。

依据中国保险监督管理委员会《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求（2022年修订）》（中国证监会公示［2022］15号）、《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》的有关规定，我们公司就2022本年度募资储放与应用情况作如下专项报告：

一、募资基本概况

（一）具体募资额度、资金到位状况

经中国保险监督管理委员会《关于同意盛美半导体设备（上海）股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监批准[2021]2689号）准许，企业向社会公布发售人民币普通股（A股）43,355,753股，发行价为85.00元/股，募资总额为rmb3,685,239,005.00元，扣减主承销证券承销及承销费用rmb173,832,028.54元，扣减别的与发售权益性证券直接相关的外界花费rmb30,148,456.12元（包含：审计费及验资费套餐12,467,000.00元、律师代理费10,904,467.37元、用以本次发行的信息披露花费4,575,471.70元、发售服务费及材料制作费等2,201,517.05元），募资净收益为人民币3,481,258,520.34元。以上募资及时状况早已立信会计师事务所（特殊普通合伙）检审并提交信大会师报字[2021]第ZI10561号《验资报告》。

（二）2022本年度募集资金使用情况和盈余状况

截止到2022年12月31日，募资总计使用和盈余情况如下：

注：募资盈余额度详细信息见本专项报告二、（二）及三、（四）。

二、募资管理方法状况

（一）募资的监管状况

为加强企业募资管理方法，维护中小股东权益，公司已经建立了《募集资金管理制度》，对募资的储放、应用及其监管等进行了实际具体规定。报告期，企业严格执行企业《募集资金管理制度》的相关规定管理与应用募资，募资的储放、应用、管理方法都不存有违背《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等政策法规文件信息要求以及企业《募集资金管理制度》等制度的现象。

2021年11月，公司与承销商海通证券股份有限责任公司分别向招商银行股份有限责任公司上海分行、光大银行有限责任公司上海昌里分行、我国银行股份有限公司上海市浦东开发区支行、上海市银行股份有限公司上海浦东支行、招商银行股份有限责任公司陆家嘴分行、上海浦东发展银行有限责任公司卢湾分行、招商银行股份公司上海市准海分行、兴业银行银行股份有限公司上海市北分行、宁波市银行股份有限公司上海长宁分行、工商银行有限责任公司上海自贸试验区新片区支行一同签署了《募集资金专户存储三方监管协议》，公司及控股子公司盛帷半导体行业（上海市）有限公司和承销商海通证券股份有限公司与招商银行股份有限责任公司上海分行一同签署了《募集资金专户存储四方监管协议》。2022年10月，公司与承销商海通证券股份有限公司与上海浦东发展银行有限责任公司卢湾分行签署了《募集资金专户存储三方监管协议之补充协议》。以上监管协议确定了各方面的权利与义务，协议书主要条款与上海交易所《募集资金专户存储三方监管协议（范本）》不会有重要差别。截止到2022年12月31日，以上监管协议执行正常的。

（二）募资存放状况

截止到2022年12月31日，募资存放情况如下：

注：定期账户为系统软件一键生成，依托活期储蓄而活着，资金流动都应根据募集资金专户。

三、本当年度募资的具体应用情况

（一）募集资金投资项目（下称“募投项目”）的资金使用情况

我们公司2022本年度募资具体应用情况详细附注《募集资金使用情况对照表》。

（二）募投项目前期资金投入及更换状况

我们公司于2022年3月1日各自召开第一届股东会第十七次会议和第一届职工监事第十四次大会，各自审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入募投项目及已支付发行费用的自筹资金的议案》，允许公司使用募资rmb209,203,489.29元更换事先资金投入募投项目的自筹经费，允许公司使用募资rmb8,636,173.92元更换已预先支付发行费的自筹经费，总计应用募资rmb217,839,663.21元更换事先资金投入募投项目及已支付发行费用自筹经费。公司监事会、独董对该事宜发布了建议，承销商海通证券股份有限责任公司出具了审查建议。

立信会计师事务所（特殊普通合伙）对于该募集资金投资项目前期资金投入及更换情况进行重点核实，并提交了《盛美半导体设备（上海）股份有限公司募集资金置换专项鉴证报告》（信大会师报字[2022]第ZI10013号）。

主要内容详细公司在2022年3月2日上海证券交易所网址公布的《关于使用募集资金置换预先投入募投项目及已支付发行费用的自筹资金的公告》（公示序号：2022-009）。

截止到2022年12月31日，企业完成对事先资金投入募投项目及已支付发行费用自筹经费的更换。

（三）用闲置募集资金临时补充流动资金状况

截止到2022年12月31日，我们公司不会有用闲置募集资金临时补充流动资金的现象。

（四）对闲置募集资金开展现金管理业务，项目投资产品类别状况

我们公司于2022年8月18日举办第一届股东会第二十次大会、第一届职工监事第十七次大会，审议通过了《关于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，允许企业在确保不受影响募资方案正常进行前提下，应用最大不超过人民币20亿的临时闲置募集资金用于支付安全系数高、流动性好、有保底合同约定的投资理财产品，使用年限自董事会、职工监事表决通过生效日12个月合理。在上述情况信用额度及时限范围之内，企业可以循环系统翻转应用。主要内容详细公司在2022年8月20日上海证券交易所网址公布的《关于使用闲置募集资金进行现金管理的公告》（公示序号：2022-023）。

报告期，公司使用一部分闲置募集资金开展现金管理业务具体情况如下：

（五）用超募资金永久性补充流动资金或偿还银行借款状况

截止到2022年12月31日，我们公司不会有用超募资金永久性补充流动资金或偿还银行借款状况。

（六）超募资金用以建设中的项目及新新项目（包含收购资产等）的现象

我们公司于2022年8月4日举办第一届股东会第十九次大会及第一届职工监事第十六次大会，表决通过《关于使用部分超募资金投资建设新项目的议案》，允许公司使用74,773.07万余元（含利息收入）用以投建最新项目，在其中应用超募资金rmb73,087.15万余元。该提案于2022年9月8日经企业2022年第一次股东大会决议表决通过。主要内容详细公司在2022年8月8号在上海交易所网址公布的《关于使用部分超募资金投资建设新项目的公告》（公示序号：2022-019）

（七）结余募集资金使用状况

截止到2022年12月31日，我们公司不会有将募投项目结余资金进行别的募投项目或者非募投项目的现象。

（八）募集资金使用的其他情形

截止到2022年12月31日，我们公司不会有募集资金使用的其他情形。

四、变动募投项目的资金使用情况

报告期，我们公司募投项目未发生变化。

五、募集资金使用及公布存在的问题

我们公司已公布相关信息不会有不到位、与事实不符、有误、不全面公布的状况。已用的募资均看向所约定的募集资金投资项目，不会有违规使用募资的情况。

六、会计事务所对企业本年度募资储放与应用情况开具的鉴证报告的结论性意见和建议

立信会计师事务所（特殊普通合伙）觉得：企业2022本年度募资储放与应用情况专项报告在大多数重要层面依照中国保险监督管理委员会《上市公司监管指引第2号—上市公司募集资金管理和使用的监管要求（2022年修订）》（中国证监会公示［2022］15号）、《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》的有关规定编写，如实陈述了企业2022本年度募资储放与应用情况。

七、承销商对企业本年度募资储放与应用情况所出示重点核查报告的结论性意见和建议

经核实，承销商觉得：企业2022本年度募资的储放和应用合乎《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等有关规定以及公司募资资金管理制度，对募资展开了资金存储和应用，截止到2022年12月31日，雅泽上海市不会有变向更改募集资金用途和危害股东利益的情形，不会有违规使用募资的情况，外国投资者募集资金使用不会有违背我国合规管理最新法律法规的情况。承销商对雅泽上海市2022本年度募资储放与应用情况情况属实。

特此公告。

盛美半导体机器设备（上海市）有限责任公司

股东会

2023年2月25日

附注：

募集资金使用状况一览表

2022本年度

编制单位：盛美半导体机器设备（上海市）有限责任公司

企业：人民币元

注1：“募资总金额”就是指扣减证券承销承销费及其它发行费后金额rmb3,481,258,520.34元。

注2：“截止到期终服务承诺资金投入额度”以最近一次已公布募资融资计划为基础明确。

证券代码：688082证券简称：雅泽上海市公示序号：2023-015

盛美半导体机器设备（上海市）有限责任公司

有关应用一部分超募资金向全资孙公司

增资扩股以执行新建工程的通知

本公司董事会及整体执行董事确保本公告内容不存在什么虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对内容的真实性、准确性完好性依规负法律责任。

核心内容提醒：

●新项目规划：雅泽韩国半导体设备开发与制造中心（下称“本项目”或“新项目”）。

●投资额及自有资金：本项目实施计划项目总投资24,500.00万余元，在其中，基础建设18,984.70万余元，科研投入5,515.30万余元。资金来源为盛美半导体机器设备（上海市）有限责任公司（下称“企业”或“雅泽上海市”）首次公开发行股票募资中超募资金。

●公司在2023年2月23日举办第二届股东会第三次会议和第二届职工监事第三次会议，审议通过了《关于使用部分超募资金向全资孙公司增资以实施新建项目的议案》，允许企业以超募资金rmb24,500.00万余元(折算韩币约462.95亿，暂以股东会决议日汇率计算，实际外汇额度以增资扩股当日汇率为标准）向全资孙公司ACMResearchKoreaCO.,LTD.（下称“雅泽韩”）增资扩股以新创建并执行“雅泽韩国半导体设备开发与制造中心”新项目，并同意根据技术许可的形式，将目前关键技术受权于雅泽韩，运用到该项目的研发生产中。公司独立董事对于该事宜发布了赞同的单独建议，以上事宜尚要递交企业股东大会审议。

●此次项目投资不构成关联方交易，亦不组成资产重组。

●有关风险防范：新项目建设中，将面临国外投资风险性、经营风险以及产品研发风险。因而新项目对企业未来公司业绩危害具备可变性，烦请投资人注意投资风险。

一、募资基本概况

依据中国保险监督管理委员会颁发的《关于同意盛美半导体设备（上海）股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监批准[2021]2689号），公司在2021年11月18日首次公开发行股票A股43,355,753股，每一股的股价为人民币85.00元，募资总额为rmb3,685,239,005.00元，扣减发行费rmb203,980,484.66元（没有企业增值税，相同）后，具体募资净收益（下称“融资净收益”）为人民币3,481,258,520.34元。以上融资净收益已经从立信会计师事务所（特殊普通合伙）检审并提交信大会师报字[2021]第ZI10561号《验资报告》进行确认。

为加强企业募资管理与应用、维护债权人权益，成立公司了募资重点帐户，并和承销商、储存募资的银行业签订了《募集资金专户存储三方监管协议》。募资到帐后，已经全部存放于经董事会准许开办的募资重点账户中。

二、募集资金使用状况

依据《盛美半导体设备（上海）股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市招股说明书》，企业的募集资金投资项目及募资的应用方案详细如下：

企业：元

（一）募资前期资金投入及更换状况

公司在2022年3月1日各自召开第一届股东会第十七次会议和第一届职工监事第十四次大会，审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入募投项目及已支付发行费用的自筹资金的议案》，允许应用募集资金置换事先资金投入募投项目及已支付发行费用自筹经费，更换资产总额为217,839,663.21元。公司监事会、独董对该事宜发布了建议，承销商海通证券股份有限责任公司出具了审查建议，立信会计师事务所（特殊普通合伙）出具了审查报告。主要内容详细公司在2022年3月2日上海证券交易所网址（http://www.sse.com.cn）公布的《关于使用募集资金置换预先投入募投项目及已支付发行费用的自筹资金的公告》（公示序号：2022-009）。

（二）企业超募资金状况

企业首次公开发行股票超募资金171,141.07万余元，截止到2022年12月31日，企业超募资金三方存管余额以及造成利息总计97,652.77万余元。

公司在2022年8月4日举办第一届股东会第十九次会议和第一届职工监事第十六次大会，审议通过了《关于使用部分超募资金投资建设新项目的议案》，允许公司使用74,773.07万余元（含利息收入）用以投建最新项目，在其中应用超募资金rmb73,087.15万余元。该提案于2022年9月8日经企业2022年第一次股东大会决议表决通过。主要内容详细公司在2022年8月8号在上海交易所网址（http://www.sse.com.cn）公布的《关于使用部分超募资金投资建设新项目的公告》（公示序号：2022-019）。

（三）闲置募集资金应用情况

公司在2022年8月18日举办第一届股东会第二十次会议和第一届职工监事第十七次大会，审议通过了《关于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，允许企业在确保不受影响募资方案正常进行前提下，应用最大不超过人民币20亿的临时闲置募集资金用于支付安全系数高、流动性好、有保底合同约定的投资理财产品，使用年限自董事会、职工监事表决通过生效日12个月合理。公司监事会、独董对该事宜发布了建议，承销商海通证券股份有限责任公司出具了审查建议。主要内容详细公司在2022年8月20日上海证券交易所网址（http://www.sse.com.cn）公布的《关于使用闲置募集资金进行现金管理的公告》（公示序号：2022-023）。

三、此次应用一部分超募资金向全资孙公司增资扩股以执行新建工程的现象

（一）增资扩股的相关情况

公司在2023年2月23日举办第二届股东会第三次会议和第二届职工监事第三次会议，审议通过了《关于使用部分超募资金向全资孙公司增资以实施新建项目的议案》，允许企业以超募资金rmb24,500.00万余元(折算韩币约462.95亿，暂以股东会决议日汇率计算，实际外汇额度以增资扩股当日汇率为标准）向全资孙公司雅泽韩增资扩股以新创建并执行本项目，并同意根据技术许可的形式，将目前关键技术受权于雅泽韩，运用到该项目的研发生产中。

（二）此次增资扩股目标的相关情况

（三）此次增资扩股目地及对企业的危害

公司本次应用超募资金对雅泽韩开展增资扩股，都是基于公司使用一部分超募资金投建最新项目的需求，有利于推动新项目的建设，为公司与公司股东获得更多的回报率，不存在损害公司与股东利益的情形。此次增资扩股不构成关联方交易和《上市公司重大资产重组管理办法》所规定的资产重组。

四、此次应用一部分超募资金基本建设最新项目实际情况

（一）项目可行性

本项目将于韩购买土地资源，基本建设一个新的办公楼、净化室及生产线，完工雅泽韩国半导体设备开发与制造中心，改进雅泽韩国研发生产标准，提高雅泽韩国研发实力及产业发展水平，并把根据技术许可的形式，将目前关键技术受权于雅泽韩，运用到该项目的研发生产中。根据本项目，企业将进一步完善经济全球化产业发展规划，接近全球半导体优秀制造公司，加速推进商品根据顾客认证，提高企业客户服务能力，与此同时，都将引进大量半导体材料领域内的优秀专业人才，提高企业的人才资源。

（二）项目基本情况

1.项目规划：雅泽韩国半导体设备开发与制造中心

2.项目实施主体：ACMResearchKoreaCO.,LTD.

3.项目执行地址：韩京畿道龙仁市处仁区阳智面霁日里63-2号

4.新项目投资构成：本项目实施计划项目总投资24,500.00万余元，在其中，基础建设18,984.70万余元，科研投入5,515.30万余元。资金来源为企业首次公开发行股票募资中超募资金。

5.项目建设周期：本项目建设周期为2年，最后以具体推进情况为标准。

（三）投资的必要性和可行性研究

1.投资的重要性

（1）落地式公司战略规划，健全全世界产业发展规划

近些年，始终秉持技术性多元化、商品服务化、顾客经济全球化的核心理念，不断加快国内外市场合理布局，提升企业产品市场占比，提高竞争优势。伴随着半导体业中下游5G通讯、电子计算机、消费电子产品、网络通讯、汽车电子产品、物联网等市场的发展，芯片生产公司生产能力不断扩大，企业半导体材料专业设备遭遇市场需求将进一步提高，企业急待加快完善全世界产业发展规划，完成半导体材料专业设备的产能扩张，提升公司在行业里的竞争能力。

本项目将利用雅泽上海市目前客户基础及市场优势，在首尔基本建设研发与制造中心。本项目的实施，将进一步完善企业的经济全球化产业发展规划，加速企业位居国际一流集成电路装备公司队伍的脚步，是落地式公司未来发展发展战略的重要途径。

（2）提高用户回应水平，加速推进产品验证及产业发展

半导体业用户对半导体材料专业设备的品质、性能参数、可靠性等具有严格的规定，对新机器供应商选择也极为谨慎。一般，半导体业客户的要求设备生产厂家先提供产品供其检测，待通过内部认证后列入合格供应商名册；一部分顾客有待将使用此设备制造的半导体产品送往其下游客户处，得到其客户的信任后，才能列入合格供应商名册。因而，半导体材料专业设备公司在用户认证、抢占市场层面时间较长、难度比较大。韩国是仅次大陆地区的全球第二大半导体行业销售市场。依据国际性半导体材料行业协会SEMI公布的《全球半导体设备市场统计报告》，2021年韩国半导体机器设备销售总额提高55%，做到250亿美金，占全球半导体机器设备销售额24.34%。

本项目着眼于全球第二大半导体行业销售市场，具备广阔的市场室内空间，项目的实施将减少企业与客户的服务项目间距，在很大程度上提升公司在首尔本地的顾客回应水平，加速推进商品根据顾客认证，减少市场拓展难度。

（3）改进研发生产标准，提高技术专业人才资源

集团公司十分重视技术性研发部门基本建设教育培养，自开设来，不断培育和引入全球行业内专业型人才，经过多年积淀，公司拥有了一支全球化、系统化的技术研发精英团队。现阶段，企业已经在韩成立了更专业的研发部门，借助韩在机械自动化领域的技术优秀人才，与中国内地的研发部门扬长补短。

根据本项目的建设，企业将进一步改善在韩国生产与产品研发标准，吸引更多专业性人才进入公司，提高企业专业型人才贮备，提高生产力及研发实力。除此之外，韩作为世界最主要的芯片市场，有着一大批优秀制造的半导体企业，根据有关技能人才的引入，有利于扩宽企业的自主创新能力和思想，密切关注半导体行业技术发展趋势，为公司发展将来的可持续发展观奠定坚实基础。

2.投资的可行性分析

（1）本项目具有较好的行业前景

半导体材料专业设备市场与半导体行业形势情况密切相关，伴随着中下游消费电子产品要求转暖，累加车辆电子产业极速扩张，全球半导体产业链景气度上涨推动半导体行业市场容量不断扩大。依据国际性半导体材料行业协会SEMI有关统计分析，作为世界最主要的半导体行业市场销售地之一，韩国半导体机器设备销售市场获益全球半导体产业链景气度的回暖，在2020年完成强劲增长后，2021年再次完成持续增长，较2020年的销售额提高55%，做到249.80亿美金，是仅次于我国的第二大半导体行业销售市场。将来，随着全球半导体业的进一步发展，及其韩国国会对半导体行业的高度重视与促进，韩国半导体设备行业仍将于全球半导体机器设备市场里进一步发展并占有重要的地位。

总的来说，本项目商品具有较好的行业前景，具有产业发展的销售市场基本。

（2）企业具有项目执行的技术实力

企业十分重视自主创新，从2007年至今，持之以恒自主开发，以多元化立足于，切合技术发展趋势，通过持续的科研投入或长期的专业技术、加工工艺积淀，在新产品研发、生产制造工艺改进等多个方面构成了一系列科技成效，对企业不断提升产品质量、丰富多彩产品布局也起到了关键的功效。截止到2022年12月31日，公司及子公司有着已获得授于专利权的关键专利权389项，在其中，发明专利申请384项，实用型专利3项，外观专利2项。在关键技术领域，公司目前已理解了半导体清洗机器设备、半导体材料铸造设备、优秀封装设备等各类产品行业的诸多关键技术，一部分已经达到国际领先水平，并且已经完善地用于新产品的批量生产过程中。对于之上专利权及关键技术，企业将根据技术许可的形式，将目前关键技术受权于雅泽韩，运用到该项目的研发生产中。

总的来说，本项目具有开展的基本技术，为项目的实施给予技术支撑。

（3）公司拥有很强的市场开拓能力

公司自开设至今，自始至终采用个性化的市场拓展对策，最先拓展全球半导体行业龙头顾客，根据长时间研发与技术储备，获得对于企业技术和产品的肯定，以塑造企业的行业信誉，随后凭借国际性领域获得的盈利和信誉，不断拓展别的半导体业新起营销市场。在实际营销模式层面，目前公司构成了经销代理和独立市场销售结合的一体两翼营销模式。在公司发展的早期，为遮盖大量潜在用户，企业主要是通过地区代理抢占市场，与地区代理设立了长期稳定的合作关系；随着公司经营规模的不断扩大，企业也着手培养和扩张本身销售队伍，提升独立营销能力，提高市场份额。凭着很强的市场开拓能力，近些年企业已经与sk海力士、长江存储、华虹集团、中芯及长电科技等国内外半导体材料龙头企业构成了相对稳定的合作关系，收入及盈利经营规模得以持续增长。

总的来说，公司创新的市场开发对策及很强的市场开拓能力可以为本项目提供可靠的产能消化吸收确保。

（四）新项目与现有主营的相关性剖析

公司主要从事半导体材料专用型设备的研发、生产销售，主要产品包括半导体清洗机器设备、半导体材料铸造设备和先进封装湿式设施等。公司坚持差异化营销与创新的发展理念，根据自主研发片式兆声波频率清洁技术、片式槽体式组成清洁技术、电镀技术、无地应力喷砂工艺和立式炉管系统等，面向全球晶圆制造、先进封装及其它用户提供定制化的机器设备及工艺解决方法，现阶段已发展成为中国内地极少数具有一定竞争力的半导体材料设备生产厂家，设备获得许多世界各国流行半导体厂商的肯定，并取得良好的品牌口碑。

本项目将充分发挥公司现有产品种类、关键技术、客源等优点，进一步增强雅泽韩的开发及生产量，加速推进经济全球化产业发展规划，是公司实现变成全球平台化半导体行业企业战略目标的主要流程。

（五）关键风险评估

1.国外投资风险性

企业通过本项目在首尔基本建设工厂，拓展韩及国际市场，提升公司在首尔及国际影响力。韩国是全球主要的半导体行业销售市场之一，具备比较比较发达和优化的半导体产业链，但是作为国外投资新项目，潜在性风险也不容忽视。企业在首尔创建工厂，国外投资经营规模增加，对企业的管理制度、资源优化配置等多方面提出了更高要求。假如公司管理人员不能适应企业国外体量的比较大扩大，那样企业可能面临管理方法运营风险。除此之外，市场风险也是国外投资的重要风险性之一。因而，本项目的建设可能会面临管控风险及市场风险等各个方面可变性要素。

应对以上隐患，企业制订了一系列的应对策略：最先，企业将进一步完善管理模式，强化对韩投资项目的管理与内控制度，不停融入业务流程要求及政策调整，积极主动预防和解决管控风险；次之，企业分公司雅泽韩将充足广泛开展市场调查，以了解本地基本国情和法律法规，谨慎管理决策；其次，企业严格执行最新法律法规、领域规则以及当地现行政策，坚持不懈合规管理、安全生产工作，搞好突发事件应急应急预案。

2.经营风险

全球半导体设备行业竞争激烈，企业产品则在面对的行业与国外大佬立即市场竞争。全球大佬公司有着更强大的经济实力、技术实力、营销团队、制造能力、营销渠道与市场名气，有着更大范围用户和战略伙伴关系，也具备比较长的运营历史时间、更为丰富的产品种类、更为广泛的区域遮盖，可以更好的识别解决行业和客户需求的转变。本项目建成后，企业半导体行业的生产能力将大幅度提高，最后能否顺利抢占市场并消化吸收生产能力，将直接影响到投资的盈利。虽然公司已经对该新项目进行了详细细致入微的可行性分析验证，对这个项目的销售市场、技术性、会计等因素进行了详细走势分析，那如果后期市场现象发生不可预测的改变，或公司不能有效开拓市场，将存有生产能力消化吸收风险性。

应对以上隐患，企业制订了一系列的应对策略：最先，企业将会对市场情况和客户满意度情况做好立即追踪剖析，构建系统很明确的业绩目标；依据总体目标计划方案分配具体执行人员严苛实施，严格把控销售风险；次之，企业将根据稳健脚步健全营销业务，不断完善顾客服务，提高企业产品服务水平；其次，企业将提高自己的技术实力，加速新品、新技术的研发过程。

3.商品研发风险

本工程项目的产品包括公司已经批量生产产品和研发产品。批量生产商品必须满足市场的需求转变，持续优化提升。研发产品是企业早期进行深入论述和讨论，充分考虑行业发展前景、国外市场自然环境并根据企业本身发展需要开展布局的。半导体行业领域具备技术密集的特征，研发能力力是企业核心竞争优势。如果企业无法对技术趋势有精确的分辨，在商品优化提升层面或新品新技术的研发上无法满足国家标准或是中下游厂家的规定，可能面临因产品研发自主创新能力没法以客户为中心而造成的市场竞争力下降的风险性。

企业将根据人才培养和职位招聘两个方面，不断提升研发团队的专业水平来面对很有可能的技术研发风险性。在人才培养领域，企业将建立外部环境企业培训体系，一方面，以在公司内部创建课程内容或培训师培训管理体系，持续提高员工的专业水平；另一方面，企业将为员工提供外部培训机遇，为职工宽阔领域视线，增强对技术前沿高新科技高度敏感度，维持企业在业内最前沿的技术水平。在职位招聘层面，企业将根据人力资源市场、大中型招聘平台、高等院校人才招聘会等公开渠道公布公司岗位需求，提升公司在韩国招聘职位覆盖面积。与此同时企业将建立完善的薪酬管理体系和奖励机制，吸引住杰出人才。

（六）确保超募资金安全对策

本项目有关审批流程执行结束后，企业将设立募资专用账户，重点存放花费的超募资金，并和雅泽韩、承销商和储放募资的银行业签定募集资金专户存放四方监管协议，企业将依据新创建项目的实施进展，逐渐资金投入募资并且对项目执行独立做账计算。董事会受权高管以及受权人员全权负责申请办理与此次开设募资重点帐户、签定募资资金监管协议等相关的事宜。企业将严格按照《上市公司监管指引2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等有关规定执行管控监管，并依据相关事宜工作进展立即履行信息披露义务。

五、有关决议程序流程

公司在2023年2月23日举办第二届股东会第三次会议及第二届职工监事第三次会议，审议通过了《关于使用部分超募资金向全资孙公司增资以实施新建项目的议案》。公司独立董事就得事宜发布了确立赞同的单独建议，该事项尚要递交企业股东大会审议。

六、重点建议表明

（一）独董建议

独董觉得：公司本次应用一部分超募资金向全资孙公司增资扩股以执行新建工程的事宜合乎《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关法律法规、政策法规及其行政规章和《公司章程》《募集资金管理制度》等要求。此次事宜已通过股东会决议，提案内容包括决议状况符合相关要求，依法履行必须的程序流程。公司本次事宜合乎公司主要业务发展前景，符合公司募集资金使用方案，有利于公司持续发展、提升募资的使用效率，不存在损害公司及中小型股东利益的情形。公司本次超募资金的使用与募集资金投资项目的实行不相排斥，找不到变向更改募资看向的情况。

综上所述，公司独立董事允许此次应用一部分超募资金向全资孙公司增资扩股以执行新建工程的相关事宜。

（二）职工监事建议

公司监事会觉得：此次应用一部分超募资金向全资孙公司增资扩股以执行新建工程的事宜合乎《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关法律法规、政策法规及其行政规章和《公司章程》《募集资金管理制度》等要求，合乎公司主要业务发展需求，有利于提高募资的使用效率，不存在损害公司及整体股东利益的情形。此次超募资金的应用也不会影响募集资金投资项目的稳定执行，找不到变向更改募资看向的情况。

综上所述，公司监事会允许应用一部分超募资金向全资孙公司增资扩股以执行新建工程的相关事宜。

（三）承销商审查建议

经核实，承销商觉得：公司本次应用一部分超募资金向全资孙公司增资扩股以执行新建工程事宜早已第二届股东会第三次会议及第二届职工监事第三次会议表决通过，独董已发布确立赞同的单独建议，该提议尚要递交企业股东大会审议。公司本次应用超募资金事项有关决议程序流程合乎《证券发行上市保荐业务管理办法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所上市公司自律监管指引第11号——持续督导》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》《上市公司监管指引2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》等有关法律、政策法规、行政规章及《盛美半导体设备（上海）股份有限公司募集资金管理制度》的需求。

公司本次应用一部分超募资金向全资孙公司增资扩股以执行新建工程事宜并没有与募集资金投资项目的实施措施相排斥，不受影响募集资金投资项目的正常进行，亦不会有更改或变相改变募资看向和危害企业股东利益的情形。

综上所述，承销商对公司本次应用一部分超募资金向全资孙公司增资扩股以执行新建工程事宜情况属实。

七、手机上网公示配件

（一）《独立董事关于第二届董事会第三次会议相关事项的独立意见》；

（二）《海通证券股份有限公司关于盛美半导体设备（上海）股份有限公司使用部分超募资金向全资孙公司增资以实施新建项目事项的核查意见》。

特此公告。

盛美半导体机器设备（上海市）有限责任公司股东会

2023年2月25日

公司代码：688082公司简称：雅泽上海市

盛美半导体机器设备（上海市）有限责任公司

2022年年度报告摘要

第一节重要提醒

1年度报告摘要来源于年报全篇，为充分了解本公司的经营成效、经营情况及未来发展规划，股民理应到www.sse.com.cn网址认真阅读年报全篇。

2重要风险防范

报告期，不会有对企业生产运营造成实质危害的特殊重大风险。企业已经在声明中详细说明可能出现的相关风险，敬请查阅“第三节管理层讨论与分析：四、潜在风险”一些内容。

3本董事会、职工监事及执行董事、公司监事、高管人员确保年报内容的真实性、精确性、完好性，不会有虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并要担负某些和连同的法律依据。

4企业整体执行董事参加董事会会议。

5立信会计师事务所（特殊普通合伙）为我们公司出具了标准无保留意见的财务审计报告。

6企业上市时未赢利且并未实现提高效益

□是√否

7股东会决议根据的本当年度利润分配预案或公积金转增总股本应急预案

经公司第二届股东会第三次会议表决通过《关于2022年度利润分配预案的议案》，企业2022本年度利润分配预案如下所示：截止到2022年12月31日，企业总市值共433,557,100股，拟每10股派发现金红利3.72元（价税合计），总共派发觉金红利161,283,241.20元（价税合计），此次股东分红股票分红额度占2022年合并财务报表归属于母公司公司股东纯利润的24.13%。此次股东分红不派股，没有进行资本公积转增股本。

如果在公示公布之日起止执行权益分派证券登记日期内，因可转债转股、回购股份、股权激励计划授于股权回购注销、资产重组股权回购注销等导致企业总市值产生变化的，公司拟保持分派总金额不会改变，适当调整每一股比例。如后面总市值产生变化，将再行公示实际调节状况。

该利润分配预案尚要递交企业2022年度股东大会审议。

8存不存在公司治理结构独特分配等重大事项

□可用√不适合

第二节公司概况

1公司概况

企业股票概况

√可用□不适合

企业存托概况

□可用√不适合

联络人和联系电话

2当年度公司主要业务介绍

(一)主营业务、关键产品和服务状况

1.主营业务

公司从事对优秀集成电路制造与优秀晶圆级封装加工制造业非常重要的单晶体圆及槽体式湿式清洗机械、铸造设备、无地应力抛光机械、立式炉管设备及前点胶成像设备及等离子提高干法刻蚀设施等的研发、制造和销售，并致力于为半导体材料生产商给予个性化、性能卓越、低耗工艺解决方法，合理提升客户好几个流程的生产率、商品合格率，并降低成本。

2.主营产品

企业经过长期持续不断的科研投入和技术储备，依次研发了前半导体工艺机器设备，包含清洗机械、半导体材料铸造设备、立式炉管系列机器设备（包含空气氧化、蔓延、真空泵淬火、LPCVD、ALD）、点胶成像Track机器设备、等离子提高干法刻蚀PECVD机器设备、无地应力抛光机械；后整先进封装工艺技术及其光伏材料基板生产制造工艺技术等。

（1）前半导体工艺机器设备

①清洗机械

A.SAPS兆声波频率片式清洗机械

单晶硅片表层的兆声波频率动能与单晶硅片和兆声波频率产生器间的距离展现周期性转变。在传统兆超声波清理工艺中，不一样工艺流程后地应力所带来的单晶硅片涨缩，促使单晶硅片上不同之处到兆声波频率产生器之间的距离不一样，因而单晶硅片上不同位置的兆声波频率动能也有所不同，难以实现兆声波频率动能在单晶硅片表层的联合分布。并且由于硬件配置位置控制的偏差，也会导致兆声波频率动能在单晶硅片表层遍布却不匀称。

企业自主研发SAPS兆声波频率技术性选用扇型兆声波频率产生器，根据精确匹配单晶硅片运动速度、附面层薄厚、兆声波频率产生器位置、交替变化偏移及力量等关键工艺参数，以在工艺中操纵兆声波频率产生器和单晶硅片间的半波长区域范围相对速度，使单晶硅片上每一点在工艺期限内接收的兆声波频率动能都同样，进而非常好的控制住了兆声波频率动能在单晶硅片表层的联合分布。

B.TEBO兆声波频率片式清洗机械

企业自主研发TEBO清洗机械，可适用于28nm及以下图型单晶硅片清理，通过一系列迅速（工作频率做到每秒钟一百万次）压力转变，促使汽泡在可控的条件下维持尺寸大小样子震荡，将汽泡保持在平稳波动情况，不会内爆，进而维持单晶硅片薄膜光学不会被毁坏，对单晶硅片表层图形结构开展无损伤清理。企业TEBO清洗机械，在电子元件构造从2D转换成3D的技术创新中，可应用于更加细致的具备3D构造的FinFET、DRAM和新起3DNAND等商品，和未来新式纳米器件和量子器件等，在提升顾客商品合格率层面充分发挥越来越重要的作用。

企业通过自主开发并具有全球知识产权管理的SAPS和TEBO兆声波频率清洁技术，克服了兆声波频率技术的应用集成电路芯片片式清洗机械上应用中，兆声波频率动能怎样在单晶硅片上联合分布及如何做到图形结构无损伤的国际性难点。为推进生产能力更大化，企业片式清洗机械可根据客户需求配备好几个加工工艺内腔，最多可每台配备18内腔，合理提升客户的生产率。

C.持续高温片式SPM机器设备

伴随着技术性连接点推动到10nm以下的，加工工艺环境温度规定在145℃之上，已经超过了200摄氏度的SPM加工工艺流程逐步增加。高使用量干法刻蚀后光刻技术清除、无灰化步骤的纯湿式除胶加工工艺，及其特殊陶瓷膜层离子注入或脱离，都是对的SPM温度提出了更高的要求。企业的新式片式持续高温SPM设备运行与众不同的多级别梯度方向加热装置来加热盐酸，再将盐酸与双氧水混和从而达到高温。与此同时，企业的内腔适用配备别的多种多样化工品，并配备线上化工品混酸（CIM）系统软件，适合于动态设置加工工艺里的化工品配制及环境温度。该内腔配备还可以适用更多化工品和灵便辅助清洗方案，例如企业特有的发明专利SAPS和TEBO兆声波频率技术性。此设备还支持300mm单晶硅片片式SPM（盐酸和双氧水混合酸）加工工艺，可广泛应用于优秀逻辑性、DRAM，3D-NAND等集成电路制造里的湿式清洗离子注入加工工艺，特别是在对于解决高使用量干法刻蚀后光刻技术（PR）清除加工工艺，及其金属材料离子注入、脱离加工工艺。

D.片式槽体式组成清洗机械

企业自主研发具有全球知识产权管理的Tahoe清洗机械在单独湿式清洗机械中搭载了2个控制模块：槽体式模块和片式控制模块。Tahoe清洗机械可以被用于光刻技术清除，离子注入后清理，干法刻蚀后清理，研磨抛光后清理等几十道重要清理工艺中。Tahoe清洗机械的清洗效果与工艺适用范围能与片式常压SPM清洗机械相提并论，此外，与片式清洗机械对比，还可以大幅降低盐酸需求量，帮助企业减少了产品成本又能更好地合乎节能降耗的相关政策。此设备已经完成手机客户端认证，步入批量生产环节。

E.片式反面清洗机械

企业研制的片式反面清洗机械选用伯努利液压卡盘，运用流体力学飘浮基本原理，应用机械臂将单晶硅片送进内腔后，使晶背朝下，单晶硅片正脸向下，在工艺流程中，精准流量人群掌控的高纯氮气根据单晶硅片与夹具之间的空隙。此设备适合于反面金属材料环境污染清理及反面离子注入等关键加工工艺。

F.边沿湿法刻蚀机器设备

此设备支持多种元器件制造工艺，包含3DNAND、DRAM和先进逻辑性加工工艺，应用湿法刻蚀方式来清除单晶硅片边缘各种各样电解介质、金属和有机材料塑料薄膜，及其颗粒污染物。此方法最大限度地减少了边沿环境污染对后续加工工艺流程产生的影响，提升了芯片生产的合格率，与此同时融合反面单晶硅片清理的作用，进一步优化了工艺产品构造。

G.前清洗机器设备

选用片式内腔对单晶硅片正反面依工艺流程清理，可以进行包含单晶硅片反面清洗、单晶硅片边沿清洗、正反面二液体清理等清洗工艺流程；机器设备占地面积小，生产能力高，可靠性强，多种多样清理方法灵便可选择。适合于集成电路制造环节中前端至后段各道清洗加工工艺。

H.自动式槽体式清洗机械

企业开发设计的全自动槽体式清洗机械广泛用于集成电路芯片行业领域先进封装行业清洗、离子注入、光刻技术清除等工序，选用纯净水、偏碱药水、酸碱性药水做为清洁剂，与喷洒、热浸镀锌、溢流式和鼓包等清洁方法组成，再配上前沿的自然压IPA干燥技术及前沿的低电压IPA干燥技术，可以一起清理50片晶圆。此设备自动化程度高，设备可靠性好，清理工作效率高，金属材料、材料与颗粒交叉感染低。此设备广泛应用于40nm或以上技术性节点绝大多数清理加工工艺流程。

②半导体材料铸造设备

A.前铜互联电镀铜机器设备

企业自主研发对于28-14nm以下的技术性节点IC前铜互联电镀铜技术性UltraECPmap。企业得多阳极氧化局部电镀技术性采用新型的电流量控制措施，完成不一样阳极氧化中间毫秒级其他快速切换，可以从纤薄籽晶层（5nm）上实现无空化添充，并且通过对不同阳极氧化的电流量调节，在没空化添充后完成更加好的堆积铜膜厚的均匀度，可以满足工艺技术的电镀铜要求。

B.三维层叠铸造设备

用于添充3d硅通孔TSV和2.5d转接板的三维铸造设备UltraECP3d。根据盛美半导体铸造设备的渠道，此设备可以为高深宽比（深宽比超过10:1）铜运用给予性能卓越、无孔眼的电镀铜作用。为提升生产能力而做层叠式内腔设计方案，此设备还能够降低易耗品的应用，控制成本，节约设备运行总面积。

C.新式化合物半导体铸造设备

2022年Ultra?ECP?GIII铸造设备在用户完成批量生产，用于反面浅孔电镀金和金互连线及其Cu-Ni-Au等行业。根据个性化的技术和灵活多变的模块化，使新式化合物半导体电镀机的市场竞争力进一步提升。

③立式炉管系列机器设备

企业研制的立式炉管机器设备主要包含LPCVD、氧化炉、扩散炉和炉体ALD。报告期，企业以UltraFn立式炉设备平台为载体，进一步上线了ALD（热原子层沉积）立式炉UltraFnA。这一款机器设备对焦关键技术产品研发，务求达到增产能批式ALD加工工艺的高品质规定。在能够满足原子层沉积工艺技术同时具有低累计膜厚汽体清理作用，确保颗粒可靠性。

④前点胶成像Track机器设备

企业的前点胶成像UltraLithTMTrack机器设备是一款用于300mm前集成电路制造工艺技术机器设备，可以提供均匀降低气旋、快速相对稳定的机械臂以及强大的系统软件，进而满足客户的特殊要求。该设备性能多种多样，可以降低商品不合格率，提升生产能力，节省总体拥有成本（COO）。点胶成像Track机器设备适用流行光刻技术插口，适用包含i-line、KrF和ArF系统软件等在内的各种各样光刻技术，可确保达到工艺标准的前提下，让单晶硅片在光刻设备中曝出前后点胶和成像流程获得提升。

⑤等离子提高干法刻蚀PECVD机器设备

企业的等离子提高干法刻蚀UltraPmaxTMPECVD设备选型自主知识产权的内腔、汽体分派设备及液压卡盘设计方案，可以提供良好的塑料薄膜均匀度，更改善的薄膜应力和更低的颗粒物特点。

⑥无地应力铜互联平整化机器设备

企业无地应力抛光机械将无地应力喷砂工艺SFP(Stress-Free-Polish)与不高工作压力有机化学机械设备平整化技术CMP紧密结合，集成创新了低k/极低k介电质铜互联平整化Ultra-SFP打磨抛光集成化，结合二者优势，运用不高工作压力化学机械抛光先把铜互连体系中铜膜抛至150nm薄厚，再采用无地应力打磨抛光SFP智能化打磨抛光操纵将直到阻挡层。再选用企业自主研发的热气相离子注入技术性，将阻挡层清除。无地应力抛光机械用于铜低k/极低k互联构造有着许多优势：其一，借助打磨抛光自动停止基本原理，平整化技术后凹痕更均匀及精准可控性；其二，工艺简单，选用绿色环保能够循环系统好用的电化学抛光液，并没有抛光垫，磨削液等，耗品成本下降50%之上；对互连体系中金属材料层及物质层无刮伤及机械性损伤；其三，能将加工工艺扩展至新材料钴（Co）和钌（Ru）做为阻挡层的铜低k/极低k互连体系中。

⑦新式化合物半导体刻蚀设备

企业上线了6/8寸化合物半导体湿法工艺产品系列，以支持化合物半导体行业工艺运用，包含氮化硅(SiC)、氮化镓(GaN)和GaAs(GaAs)等。

（2）后整先进封装工艺技术

①先进封装铸造设备

企业在半导体材料先进封装领域进行多元化开发设计，克服了在更高电镀液总流量下保持稳定电镀工艺的一大难题，2022年在移动电镀锡银方面也是实现突破，在手机客户端取得成功批量生产。选用独创第二阳极氧化静电场控制系统能够更好地操纵单晶硅片平边或空缺区域内的膜厚均匀度操纵，完成高电流强度情况下的电镀工艺，凸块新产品的各项性能指标均满足用户规定。在对于密度高的封装形式的电镀工艺行业能够实现2μm超细RDL线电镀工艺及其包含铜、镍、锡、银和金等在内的各种各样金属材料层电镀工艺。自主研发的橡胶环密封性发明专利能够实现更加好的密封效果。2022年进一步扩大市场容量并获得高端用户的大批量订单信息。

②涂胶设备

企业的升级版8/12寸适配的涂胶设备，用以晶圆级封装领域内的光刻技术和Polyimide施胶、软烤及边沿清除。点胶腔内使用了企业独有的全方位多角度自清洗技术性，可减少设备维护管理时长。这一款全新升级涂胶设备对雅泽原先的涂胶设备性能外型都进行了优化更新，可以实现发热板零件柜抽出来，便捷检修及拆换，并且能精准校准，有效保障工艺流程运作。

③成像机器设备

企业的UltraCdv成像机器设备可应用于晶圆级封装，是WLP光刻技术里的流程。机器设备可以进行被曝光烤制、成像和坚膜等关键因素。机器设备具有灵活多变的喷头扫描系统，可以实现精准的药水操纵，技术领先，应用方便快捷。

④湿法刻蚀机器设备

企业的湿法刻蚀设备运行有机化学药水开展晶球体下金属材料层（UBM）的蚀刻加工工艺。此设备具有前沿的喷头扫描系统，可以提供行业领先的有机化学温控、离子注入均匀度，专注于安全系数，且药水回收利用应用可节省成本。

⑤湿式除胶机器设备

企业的UltraCpr湿式除胶机械设备设计高效率、操纵精准，提高了安全系数，提升了WLP生产能力。此设备将湿式槽体式侵泡与片式单晶硅片清理紧密结合，可以在灵便操纵清理的与此同时，最大程度地提高工作效率，也可以与企业专有的SAPS兆声波频率清洗机械一同应用，以消除极厚或是不易消除的光刻技术镀层。

⑥金属材料脱离机器设备

企业的湿式金属材料脱离（MetalLiftoff）机器设备根据企业现有的湿式除胶设备平台，将槽体式除胶侵泡控制模块与片式清理内腔连接起来依次应用，在除胶的同步进行金属材料脱离。此设备能够在各个片式清理腔中各自配备除胶性能和清理作用，并通过优化内腔构造，完成易拆装、清理和维护，以缓解金属材料脱离工艺中残余物积累下来的难题。（下转C50版）